ICP-MS 1000型電感耦合等離子體質譜儀主要包括以下功能模塊：進樣系統、ICP離子源、接口單元、離子傳輸系統、四級桿質量分析系統、離子檢測及和數據采集系統、真空系統、整機控制系統與軟件系統，待測樣品通過進樣系統進入離子源部分，在被 ICP射頻電源離子化后，在接口及離子傳輸系統中通過聚焦、消除干擾后進入四極桿質量分析器，在其中離子將按照質荷比（m/z）大小被分開，經過聚焦后，達到檢測器。檢測器將不同質荷比的離子流通過接收、測量及數據處理轉換成電信號經放大、處理后得到分析結果。